来源 :深交所互动易2023-06-13
irm35250764问英诺激光(301021)公司曾经为荷兰ASML子公司ASMPL提供过半导体集成封装的激光器。公司是否在该工序领域持续科研投入？谢谢！
2023-06-05 10:23:35
英诺激光答irm35250764
尊敬的投资者，您好！公司在半导体领域持续投入研发，目前提供的产品以碳化硅退火制程的激光器为主，亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器，客户以国外知名半导体装备公司为主。感谢您的关注！
2023-06-13 09:22:30