英诺激光：公司已推出脉冲和连续深紫外激光器 适用于晶圆缺陷检测

　　10月21日，英诺激光10月21日在互动平台表示，公司已推出脉冲和连续深紫外激光器，适用于晶圆缺陷检测，已开发若干客户，产品进入验证阶段。