来源 :深交所互动易2026-02-05
irm3036285问英诺激光(301021)董秘你好，公司在2025年半年报中有提到脉冲深紫外激光器实现小批量交付，新推出的连续深紫外激光器将进一步丰富半导体检测等应用，公司之前也确认了中科飞测为公司客户，请问公司去年及今年在半导体领域的国产替代检测设备有后续更多进展吗
2026-02-02 15:26:40
英诺激光答irm3036285
尊敬的投资者，您好！作为全球少数实现工业深紫外激光器批量供应的生产商之一，公司已推出脉冲和连续深紫外激光器，适用于晶圆缺陷检测，已开发若干客户，产品进入验证阶段，相关进展请关注公司公告。感谢您的关注！
2026-02-05 11:30:03