来源 :金融界2024-01-08
据国家知识产权局公告,深圳市智立方自动化设备股份有限公司取得一项名为“一种晶圆背面吸附装置“,授权公告号CN220306237U,申请日期为2023年7月。
专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆检测辅助技术领域,具体为一种晶圆背面吸附装置,包括无刷电机,所述无刷电机的驱动端设置有连接板,所述连接板的底部通过螺栓连接有吸盘安装框,吸盘设置于所述吸盘安装框上,所述吸盘的中心处开设有可直接检测晶圆背面的检测口,所述吸盘的表面设置有真空柱,所述真空柱的一端设置有真空接头,所述真空柱的内部开设有真空通道。该晶圆背面吸附装置,通过吸盘上检测口的设置,可以在检测时,不会遮挡晶圆背面,还可以在晶圆背面进行打光检测,辅助检测设备对晶圆进行两面检测,提高了检测效率,通过吸嘴的设置,可以使该装置兼容晶圆3mm以内的翘曲度变形,还不会影响晶圆的吸附稳定性。