来源 :金融界2024-04-03
2024年4月3日消息,据国家知识产权局公告,深圳市智立方自动化设备股份有限公司申请一项名为“一种分选机F标兵算法“,公开号CN117810124A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆分选技术领域,且公开了一种分选机F标兵算法,该算法包括以下步骤:1)加载F标兵晶粒map文档,F标兵晶粒是均匀地分布在晶圆上的,每颗F标兵晶粒都有map行列坐标,先通过加载文件的方式获取所有F标兵晶粒的map行列坐标;2)视觉定位F标兵晶粒初始位置;3)F标兵晶粒区域划分与管理。该分选机F标兵算法,来通过使用外观与普通晶粒不一致的F标兵晶粒,配合直接输入F标兵map行列坐标、视觉定位准确的初始位置和对应进行的区域划分及管理的F标兵算法,来在膜缩比较严重时,即使芯片偏移了半颗芯片间距以上,也会因F标兵外观特殊,而有效避免视觉识别找错标兵晶粒,减少扫描标兵时间,实现产能效率的提升。