来源 :深交所互动易2025-08-26
irm1249921问汇成真空(301392)据披露，公司EUV反射镜镀膜设备已向长春理工大学、张江实验室交付10台，用于国产EUV原型机研发。请问该设备在客户端的膜层附着力测试（此前提及达50MPa，超国际标准40MPa）是否已通过长期验证？目前是否启动了下一代High-NA EUV非球面镜片镀膜设备的客户送样？
2025-08-25 18:24:38
汇成真空答irm1249921
尊敬的投资者，您好。公司设备技术及工艺以定期报告披露为主，感谢您的关注。
2025-08-26 16:28:10