来源 :深交所互动易2025-03-04
irm1249921问阿莱德(301419)光刻机工件台的纳米级运动精度对热变形极其敏感，公司是否开发过用于精密机械结构的主动温控材料（如动态导热补偿膜）？与海外竞品（如德国汉高）的技术差距体现在哪些参数（如导热速率波动率）？
2025-03-02 15:58:49
阿莱德答irm1249921
尊敬的投资者，您好！公司暂未涉及该业务，感谢您的关注！
2025-03-04 16:13:40