来源 :金融界2023-12-27
金融界2023年12月27日消息,据国家知识产权局公告,九江德福科技股份有限公司申请一项名为“一种具备较高剥离效率的载体铜箔的制备方法“,公开号CN117286463A,申请日期为2023年8月。
专利摘要显示,本发明涉及一种具备较高剥离效率的载体铜箔的制备方法,包括如下步骤:a、真空镀金属打底层;b、离子源辅助溅射沉积剥离层;c、镀金属种子铜层;d、种子铜层加厚及表面处理。本发明利用金属靶材氧化物掺杂比例、离子源辅助溅射沉积功率、剥离层溅射时间及功率的调控,实现载体铜箔极薄铜层与载体的结合力精确调控,确保剥离效果稳定,且该方法生产制备载体铜箔绿色无污染,打破了国外产品技术壁垒,具有重大经济价值与科研价值。