来源 :深交所互动易2025-04-08
irm1304828问矽电股份(301629)公司的光刻机专利是2018年就申请了，现在过了6年，请问有哪些新的光刻机技术成果？是否申请新的光刻机专利？谢谢
2025-04-08 13:12:54
矽电股份答irm1304828
尊敬的投资者您好，公司始终重视技术创新和知识产权保护，这些技术成果将根据市场需求和公司战略规划，逐步推进产业化应用。未来如有具体业务进展，公司将严格按照信息披露要求及时公告。感谢您的关注。
2025-04-08 16:52:10