来源 :黄河实业集团2022-09-27
河南黄河旋风股份有限公司
碳化硅切割专用金刚线
研制成功并投放市场
近日，河南黄河旋风股份有限公司碳化硅切割专用金刚线锯研发取得突破，经多家客户使用，其产品性能已完全达到甚至超过日本同类产品水平，不论在切割效率、切割质量还是切割稳定性，均全面优于现有砂浆切割水平。
近年来，以氮化镓、碳化硅为代表的第三代半导体产业发展迅猛，国家高度重视，企业积极布局，整个行业呈现爆发式的增长势头。碳化硅材料作为第三代半导体之一，具有优异的性能，同时也具有难加工的特点，其超高的硬脆性特点导致加工难度大、风险高、效率低、良品率不高，尤以切割为难点。目前市场上主要以金刚石砂浆切割为主，切割速度慢，效率低，砂浆利用率低，成本居高不下，砂浆用微粉供应已达极限，固结金刚线替代砂浆切割已成必然趋势。
目前市场上能够稳定供应的碳化硅切割线仅有日本某企业，在美日等国对我国芯片行业打压的大背景下，碳化硅切割金刚线的国产化就特别迫切。然而碳化硅晶圆价值高，要求切割低风险、高质量，对金刚线的质量要求就极为严苛。
黄河旋风作为超硬材料龙头企业，充分发挥全产业链覆盖的优势，多部门协同研发，利用其从日本住友引进吸收的金刚线设备和技术，深入开展金刚石线锯对碳化硅的切割机理研究，重点对切割中金刚石的失效机理进行深入挖掘，适配了专用金刚石及微粉，确保了该产品优异的切割能力以及材料、产品质量的稳定性。
黄河旋风碳化硅切割专用金刚线线径均匀、线丝圆度好、磨料分布均匀、出刃高。
在6英寸绝缘型及导电型碳化硅晶体的切割过程中，线弓小、无断线，切割后晶面平整无线纹，切割用线量介于500-800m/片。
经多家客户的切割使用验证，切割后线径磨损均匀，均取得稳定的切割数据，且可获得同等于砂浆切割的晶片质量，可大幅提升切割效率降低生产成本。
附表
