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华微电子(600360)内幕信息消息披露
 
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华微电子:“传片系统及光刻机”主要应用于光刻机的传片系统

http://www.chaguwang.cn  2023-09-15  华微电子内幕信息

来源 :上证e互动2023-09-15

  华微电子(600360)据公司官网介绍,贵司于2021年4月6日获得发明专利授权“传片系统及光刻机”,请问该专利具体应用于光刻机什么部件?是否属于国产替代突破?

  尊敬的投资者您好,该发明专利主要应用于光刻机的传片系统。光刻机是公司生产制造中必不可少的关键设备,我司相关发明专利是围绕光刻机在公司生产制造过程中的使用过程,而并非光刻机的研发制造。公司一直致力于自主研发和创新,未来公司将继续加大研发投入,推动更多自主创新技术的研发和应用,为提升国内半导体产业的整体竞争力做出更多的贡献。感谢您的关注!

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