来源 :上证e互动2025-09-22
昊华科技(600378)高纯电子特气国产化昊华科技突破电子级三氟化氮纯化技术，纯度达99.9999%，蚀刻速率偏差控制在2%以内，打破海外企业长达20年的垄断。请问这项技术能应用于哪些方面？
尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关心和支持！公司掌握电子级三氟化氮制备及纯化技术，产品应用于集成电路制造的蚀刻、清洗等环节。