来源 :上证e互动2022-12-30
万业企业(600641)董秘您好，请问嘉芯半导体中标设备交付进展如何?
尊敬的投资者，您好！今年以来嘉芯半导体中标设备品类包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积及二氧化硅等离子薄膜沉积等多品类设备。自今年四季度起公司已成功向客户开始逐步交付CVD设备和刻蚀设备，公司也将争取在今年确认更多专用设备制造业务收入。其他相关情况请以公司披露的定期报告及公告为准。感谢您对万业企业的关注！