来源 :界面新闻2022-12-30
万业企业12月30日在互动平台表示，今年以来嘉芯半导体中标设备品类包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积及二氧化硅等离子薄膜沉积等多品类设备。自今年四季度起公司已成功向客户开始逐步交付CVD设备和刻蚀设备，公司也将争取在今年确认更多专用设备制造业务收入。