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万业企业(600641)内幕信息消息披露
 
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万业企业:低能大束流离子注入机等均已通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂验证验收

http://www.chaguwang.cn  2023-04-21  万业企业内幕信息

来源 :界面新闻2023-04-21

  万业企业4月21日在互动平台表示,凯世通自主研发的低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机,均已相继通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂的验证验收。感谢您对公司的关注!

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