来源 :上证e互动2023-04-21
万业企业(600641)请问贵公司高能离子机研发进展如何了？
尊敬的投资者您好，凯世通自主研发的低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机，均已相继通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂的验证验收。感谢您对公司的关注！