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万业企业(600641)内幕信息消息披露
 
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万业企业:凯世通成功交付超低温离子注入机

http://www.chaguwang.cn  2025-01-02  万业企业内幕信息

来源 :金融界2025-01-02

  万业企业披露投资者关系活动记录表显示凯世通今年累计交付20余台高端离子注入机,服务11家12英寸晶圆厂客户产业化生产,近四年累计签署12英寸集成电路离子注入机设备订单总数近60台,订单总金额近14亿元,已完成交付30台。此外,凯世通近期成功交付超低温离子注入机,攻克多项关键技术,可实现零下100℃下的预非晶化离子注入,满足主流晶圆厂量产需求。

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