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赛腾股份(603283)内幕信息消息披露
 
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赛腾股份:HBM全制程检测先发优势体现在产品集成与工艺适配

http://www.chaguwang.cn  2026-05-06  赛腾股份内幕信息

来源 :上证e互动2026-05-06

  赛腾股份(603283)董秘你好,新凯来已发布包括光学检测等多款量检测设备,市面上担忧其可能冲击公司在国内FAB厂的设备份额。与该公司相比,公司在HBM全制程检测(尤其TSV检测、堆叠对准检测)方面的先发优势主要体现在哪些环节?

  尊敬的投资者您好,感谢您对公司的关注!公司半导体设备主要覆盖无图/有图/边缘/背面/复合一体晶圆缺陷检测设备、倒角粗糙度测量设备、晶圆字符检测设备、晶圆激光打标机、晶圆激光开槽机、AGV转运设备及相关周边配套设备等。在产品集成、工艺适配等环节具备先发优势,以晶圆边缘全方位监控设备为例,该产品为集成化边缘全维度检测平台,可整合传统产线中需多台进口设备分别实现的功能,涵盖激光检测、明暗场检测、多角度成像与合成、边缘形貌检测、叠片错位识别、厚度量测、EBR/WEE检测、AIADC、多倍率自由角度复检等多项检测能力,设备集成度与工序适配性具备差异化优势,能够有效精简产线设备配置、适配客户一体化生产需求。谢谢!

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