元成股份：对公司收购的硅密（常州）电子设备有限公司在半导体清洗设备技术储备的介绍

　　元成股份(603388)硅密（常州）电子设备有限公司有新的技术储备和产品研发成功的吗？

　　尊敬的投资者，您好，硅密（常州）电子设备有限公司为降低对进口零部件的依赖及成本，缩短设备制造周期，今年公司研发了化学品在线加热器，超纯水在线加热系统，部分产品已开始在客户处进行试用。经过多年的技术开发和工艺积累，硅密（常州）电子设备有限公司在半导体清洗设备的技术储备主要有：半导体材料厂用湿法清洗设备，包括硅抛光片及外延片（6寸、8寸、12寸），工艺路线45nm~0.1um，第三代半导体碳化硅抛光片及外延片（6寸、8寸），高纯石英片/环/盘/炉管（400mm~560mm），硅环/硅电极（8寸，12寸）等；制造功率器件等IC电路芯片厂家所用湿法设备（6寸，8寸），工艺路线为0.13um~0.35um。未来硅密（常州）电子设备有限公司在槽式批处理湿法设备持续研究的同时，也将更加注重对单片式清洗设备的研发，积极争取半导体清洗设备在国产替代市场的份额。谢谢！