来源 :势银膜链2021-08-18
8月17日，彤程新材发布公告显示：为进一步深化公司在电子材料领域的业务布局，弥补国内光刻胶技术与全球先进水平的差距，研究ArF光刻胶，特别是193nm湿法光刻胶的工业化生产技术，并研发生产光刻胶高端产品。
公司决定通过公司全资子公司-上海彤程电子材料有限公司（以下简称“彤程电子”）在上海化学工业区内使用自筹资金人民币6.9853亿元，投资建设“ArF高端光刻胶研发平台建设项目”，项目建设周期为2.5年，预计于2023年12月完成研发平台建设。
据公告显示，该项目主要研究ArF湿法光刻胶工业化生产技术开发，通过建立标准化的生产及控制流程，提升高端光刻胶的质量控制水平，实现193nm湿法光刻胶量产生产；同时，逐步建立先进的集成电路及配套材料开发与应用评价平台。
其中，ArF光刻胶工业化生产开发主要涉及的内容包括：
（1）193nm光刻胶生产过程中的微小颗粒的控制技术，研究0.15μm及以下颗粒在精细化生产过程中的控制技术；
（2）193nm光刻胶中痕量金属离子杂质的控制技术，从原料、生产设备及生产工艺等环节入手研究ppb/ppt级别的金属离子含量控制技术，以及国产化原料及装备的可替代性；
（3）对光刻胶的作用机理进行研究，通过对缺陷的检测发现及成因分析，提高193nm光刻胶生产批次稳定性控制技术。
此外，研发平台建设分为三个部分：
（1）集成电路光刻胶及配套材料开发与应用评价平台；
（2）平板显示光刻胶开发与应用评价平台；
（3）研发公共管理平台。
彤程电子年产1.1万吨光刻胶项目于上半年顺利开工
据彤程集团官网消息，上海彤程电子材料有限公司“半导体光刻胶及高纯试剂项目”已于今年上半年在上海化学工业区顺利开工，计划年内机械竣工。
来源：彤程新材
彤程新材成立于1999年，是全球领先的新材料综合服务商。2020年，彤程新材收购了北京科华微电子部分股权，成为其第一大股东。此外，彤程新材战略收购的北旭电子同样是国产显示光刻胶的龙头企业，其生产的TFT正性光刻胶在国内头部显示面板企业京东方占有40%以上的份额。
据公开资料显示，2020年12月，彤程新材发布对外投资光刻胶项目的公告称，公司决定通过其全资子公司上海彤程电子材料有限公司，投资 5.6988亿元（建设投资），在上海化学工业区建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目，同时还将建设配套公用工程及辅助设施、检测实验楼等，预计于2021年末建成投产。
本项目总建设期12个月，2022年具备一定生产能力，2025年达产，经营期10年（含建设期）。
2021年，彤程新材将重点推进公司年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目尽快投产。同时，为加快实现光刻胶关键材料国产化，解决“卡脖子”问题，将配置高端光刻胶测试设备，加快 ArF（193nm）光刻胶产品以及其上游原料研制进程，布局EUV光刻胶。