至纯科技：下游资本开支或订单或稍有延迟 产能扩充主要受制于零部件供应

　　至纯科技调研纪要显示，目前看来，部分客户正在评估新规相关影响，下游资本开支或订单可能会稍有延迟。目前湿法设备订单中高阶设备（应用于12”晶圆产线）占比达六成，预计占比未来将进一步提升。针对目前这一轮国内客户资本开支，公司一直在实施湿法制程设备的产能扩充计划，目前已达年产150台左右。产能扩充主要受制于零部件供应链，部分进口零部件供应链在日韩，受日韩零部件厂商产能等因素影响，公司目前需针对这部分零部件进行提前备货，同时在本土积极寻找符合工艺要求的厂商。另外，公司除精耕湿法制程设备外，已开展设备部件清洗与表面处理业务、部分机加工零部件制造业务的投入与验证。