至纯科技：目前湿法设备订单中高阶设备占比6成，预计未来占比将会进一步提升

　　至纯科技近期在接受调研时表示，目前湿法设备订单中高阶设备（应用于12”晶圆产线的设备，主要以单片为主）占比达6成，预计高阶设备的占比未来将会进一步提升。针对目前这一轮国内客户的资本开支，公司一直在实施湿法制程设备的产能扩充计划，目前已达到年产150台左右。产能扩充主要受制于零部件供应链，部分进口零部件供应链在日韩，受日韩零部件厂商的产能等因素影响，公司目前需针对这部分零部件进行提前备货，同时在国内积极寻找符合工艺要求的零部件替代厂商。