来源 :上证e互动2025-09-22
至纯科技(603690)董秘您好,贵公司现在的设备和盛美上海有哪些先进?和新凯来的合作是同步和大厂签订合同?还是是自己和新凯来签订?
您好,公司湿法设备聚焦晶圆制造的前道工艺,主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后,能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前湿法设备在28纳米节点设备开发已经全部完成,且全工艺机台均有订单,在更先进制程节点,也已取得部分工艺订单,尤其在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台,公司交付和验证进度都在国内领先。新凯莱是公司的客户之一。