来源 :上证e互动2023-05-24
天准科技(688003)中科飞测在A股上市了，公司的28nm前道晶圆检测相比中科飞测，性能如何？
您好，感谢对公司的关注。公司参股的公司苏州矽行在进行前道晶圆检测设备的研发，目标是28nm晶圆检测，目前设备样机还处在内部测试阶段。