来源 :上证e互动2023-08-09
天准科技(688003)国家知识产权局公布了一项华为新的专利“反射镜、光刻装置及其控制方法”，这个技术可以用在公司设备上吗？
您好，感谢对公司的关注。天准子公司Muetec专注于半导体前道晶圆量测设备，主要产品包括套刻误差量测设备、掩模版量测检测设备、半导体晶圆红外量测检测设备等；天准参股公司苏州矽行半导体专注于半导体前道晶圆的微观缺陷检测设备，尚未布局半导体光刻机设备。