来源 :格隆汇2023-09-12
格隆汇9月12日丨天准科技(688003.SH)9月12日在互动平台回复称， MueTec于2021年中标上海新微套刻误差量测设备。套刻(Overlay)误差量测设备主要用于量测半导体制造工艺中前后叠层之间对准的套刻误差，MueTec的套刻(Overlay)误差量测设备可覆盖65-90nm工艺节点，目前公司苏州团队和MueTec团队正在合作开发更先进制程的套刻误差量测设备。