中微公司投资先锋半导体 后者为精密金属零部件制造商

　　3月1日，记者发现，靖江先锋半导体科技有限公司（下称“先锋半导体”）于2月24日发生工商变更，新增股东包括中微公司、深圳市创新投资集团有限公司、上海长三角产业升级股权投资合伙企业（有限合伙）等股东。

　　

　　先锋半导体成立于2008年3月，法定代表人为游利，经营范围包含：半导体器件专用设备制造、销售，机械零件、零部件加工等。公司官网介绍，先锋半导体专注于精密金属零部件生产制造，主要为国外半导体设备厂商提供金属零部件，是国内装备厂的重要零部件供应商。

　　智慧芽数据显示，先锋半导体专注于刻蚀机、机器人、加热器、等离子体、阳极氧化、半导体、新型结构等技术领域，已公开专利申请97件，非外观专利占比超过85%，市场价值较高的专利包括“一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构”等。