来源 :科创板日报2022-06-09
《科创板日报》9日讯，中微公司日前接受机构调研时表示，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米-5纳米等先进芯片产线上；同时，公司根据先进集成电路厂商需求，已开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并获得行业领先客户的批量订单。此外，电感性等离子刻蚀设备已在多个逻辑芯片和存储芯片厂商产线上量产。