来源 :上证e互动2023-08-10
中微公司(688012)董秘，您好！请问用28纳米的光刻机制备7纳米的芯片是用7纳米的刻蚀机还是28纳米的
您好，公司开发的刻蚀设备一般能够覆盖多个工艺的制程要求，不存在单独生产7nm或28nm芯片的刻蚀设备。谢谢您的关注。