中天硬科技 | 中微公司 Primo D-RIE 作为首台设备顺利搬入客户生产线

　　近日，中微公司刻蚀设备 Primo D-RIE 顺利付运国内优秀的集成电路制造及研发设计服务商——广州增芯科技有限公司（以下简称“增芯”），本次交付的Primo D-RIE也是该客户12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线建成后搬入的首台设备。

　　

　　增芯首台设备搬入仪式现场

　　增芯首台设备搬入仪式在广州市增城智能传感器产业园举行，增城区政府领导、增芯领导团队、中微公司代表及众多合作伙伴出席仪式。根据规划，项目一期将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。随着首台设备的顺利搬入，也标志着项目建设进入全新的阶段。

　　此次付运至客户的12英寸双反应台多反应腔主机系统Primo D-RIE，专为优化产量而设计，可以配置多达三个双反应台反应腔，每个反应腔既可以独立操作，又可以同时加工两片晶圆。

　　凭借在大规模生产中稳定可靠的性能表现、较低的生产成本、较高的生产效率和卓越的芯片加工性能，Primo D-RIE已获得众多全球领先的芯片制造商的认可与肯定。

　　

　　中微公司持续拓展和优化刻蚀设备产品线，以满足客户日益严苛的技术需求。除Primo D-RIE双反应台刻蚀设备以外，中微公司的产品线还包括薄膜设备和MOCVD设备。这些产品为客户提供了全面综合的设备解决方案，用于先进工艺和特色工艺的多种应用。

　　中微公司

　　中微半导体设备股份有限公司总部位于上海，是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。

　　中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。近年来在技术创新、产品优化和市场准入方面取得了重大突破，赢得了众多客户和供应厂商的信任和支持，成为国际半导体微观加工设备产业极具竞争力的一颗新星。