中微公司董事长尹志尧：希望五到十年，覆盖60%以上的半导体高端设备

　　中微公司召开业绩说明会。中微公司董事长尹志尧表示，目前薄膜设备收入体量不大，但公司已全面布局并加速开发更多产品，三到五年内薄膜设备收入将快速增长。对于研发投入，尹志尧表示，过去大部分在刻蚀上，但近年薄膜设备研发投入增多。未来五到十年，中微希望覆盖60%以上的半导体高端设备，成为平台式集团公司。