芯源微KrF涂胶显影机台入驻厦门士兰集科

　　6月10日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称：芯源微）12寸KrF涂胶显影设备顺利入驻厦门士兰集科。

　　

　　图源：芯源微

　　芯源微官方消息显示，此次芯源微12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的顺利交付，将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务，为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保障。此外，芯源微与士兰集科签署了战略合作协议。

　　值得一提的是，据集微网不完全统计，今年4月、5月，芯源微新增中标半导体设备共22台，涉及涂胶显影机、刷片机等。