来源 :金融界2023-12-21
金融界2023年12月21日消息，据国家知识产权局公告，沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“一种用于晶圆对准的导正装置“，授权公告号CN220208934U，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种用于晶圆对准的导正装置，设置至少三个具有导正斜面和放置面的导正组件，当安装在安装座上后，各个导正组件的放置面均位于同一水平面，形成限制晶圆位置的限位区域，示教时，只需控制机械手根据粗略位置将晶圆放置在导正装置上方，晶圆在重力作用下落至导正斜面上，并沿着导正斜面滑动至放置面上，最后晶圆将处于和其自身大小非常接近的限位区域中，实现了初步校准，提高了示教效率，相较于示教仪，成本低，由于导向柱的第一端居中设置于支撑柱的第一端上，且支撑柱的第一端的端面面积大于导向柱的第一端的端面面积，因此，若当前与晶圆接触的导向斜面和放置面出现磨损时，只需调整导正组件的朝向晶圆的方向，维护成本低。