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拓荆科技(688072)内幕信息消息披露
 
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国产半导体厂拓荆科技上市,从事高端半导体设备研发

http://www.chaguwang.cn  2022-04-21  拓荆科技内幕信息

来源 :中国电子网2022-04-21

  4月20日,国产半导体设备厂商拓荆科技股份有限公司(以下简称“拓荆科技”)正式登陆上海证券交易所科创板。

  发行价格为71.88元/股,发行数量为3,161.9800万股,成功募资约22.73亿元(扣除发行费用后募集资金净额约为21.28亿元),相比之前的计划超募了12亿元。

  根据此前的招股计划,拓荆科技拟募资月10亿元,主要用于先进半导体设备的技术研发与改进项目、ALD设备研发与产业化项目、高端半导体设备扩产项目及补充流动资金。

  拓荆科技今日开盘后,股价一度大涨46%,涨至104.96元/股,截至收盘股价回落至92.30元/股,涨幅28.41%,市值116.74亿元。

  助力半导体薄膜沉积设备国产化

  据招股书显示,拓荆科技成立于2010年4月,主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成晶圆制造三大核心设备,也是目前国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD、SACVD设备厂商。

  拓荆科技主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备和次常压化学气相沉积(SACVD)设备三个产品系列,并已广泛应用于中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线,在不同种类芯片制造产线的多道工艺中得到商业化应用,同时公司已展开10nm及以下制程产品验证测试,公司在研产品已发往国际领先晶圆厂参与其先进制程工艺研发。

  凭借长期的技术研发和工艺积累,拓荆科技成为较早打破国际巨头技术垄断局面的企业。公司100%自主知识产权研制的PECVD设备,是国内唯一能够应用于大规模集成电路生产线的12英寸全自动PEVCD设备,已用于28nm的集成电路的批量生产,同时具有14-10nm的技术的延展性,产品性能指标表现达到了世界先进水平。

  此外,拓荆科技还建成了我国首个半导体薄膜设备生产基地,总建筑面积40,000平方米,包括研发及生产用十级,百级和千级无尘洁净间。按照发展规划,公司将开展配适10nm以下制程的PECVD产品研发;开发Thermal ALD 和大腔室PE ALD;同时升级SACVD设备,研发12英寸满足28nm以下制程工艺需要的SACVD设备。

  不过,需要指出的是,与中国大陆半导体专用设备企业相比,国际巨头企业拥有客户端先发优势,产品线丰富、技术储备深厚、研发团队成熟、资金实力较强等优势,国际巨头还能为同时购买多种产品的客户提供捆绑折扣。

  从全球市场份额来看,薄膜沉积设备行业呈现出高度垄断的竞争局面,行业 基本由应用材料(AMAT)、ASMI、泛林半导体(Lam)、东京电子(TEL)等国际巨头垄断。2019 年,ALD 设备龙头东京电子(TEL)和先晶半导体(ASMI)分别占据了 31%和 29%的市场份额,剩下 40%的份额由其他厂商占据;而应用

  材料(AMAT)则基本垄断了 PVD 市场,占 85%的比重,处于绝对龙头地位;在 CVD 市场中,应用材料(AMAT)全球占比约为 30%,连同泛林半导体(Lam)的 21%和 TEL 的 19%,三大厂商占据了全球 70%的市场份额。

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