来源 :上证e互动2022-09-19
拓荆科技(688072)董秘你好！贵司12英寸ALD设备已经实现量产，应用于国产化替代之后反馈良好，请问董秘承接十三五专项研发，贵司在闪存领域是否已经实现深沟槽、球面镀膜技术攻关？相对二氧化钛，五氧化二钛及氮化钛在ALD高保型膜应用，钙钛矿光伏电池片的生产是否可以应用到ALD沉积技术？未来发展空间如何？
尊敬的投资者，您好！公司承担实施的“十三五”国家科技重大专项研发内容不涉及深沟槽和球面镀膜技术，公司产品目前在逻辑领域、存储领域都有广泛应用，未涉及钙钛矿相关的设备，后续公司产品进展情况请关注公司公告，感谢您的关注！