华海清科：CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖，目前已批量供货

　　华海清科近期接受投资者调研时称，公司CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖，目前已批量供货；14nm制程的几个关键工艺CMP设备已经在客户端同步开展验证工作。