华海清科公开“晶圆装卸装置及化学机械抛光系统”发明专利

　　9月23日，华海清科公开一项名为“晶圆装卸装置及化学机械抛光系统”的发明专利，该专利申请号为CN202210677124.8，发明人为吴兴、许振杰、王同庆、路新春。

　　本发明公开了一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统，所述晶圆装卸装置包括：托架，用于装载和/或卸载晶圆；托架座，连接于托架下方，用于支撑托架；支座，位于托架座下方并与托架座铰接；驱动机构，连接于支座下方，用于驱动支座沿竖向移动；其中，所述托架座和支座之间设置有弹性结构，所述弹性结构围绕所述托架座的中轴线并在径向同距设置，以通过所述弹性结构均匀分布的弹性力使所述托架座平行于所述支座。

　　9月16日，华海清科还公开了另一项名为“一种抛光液供给臂和化学机械抛光装置”的发明专利，该专利抛光液供给臂包括基座，其上配置有基座孔；定位轴，其设置于所述基座孔中；悬臂，其通过套筒转动连接于所述定位轴；抛光液供给管，其经由所述基座及定位轴向上延伸并沿所述悬臂的长度方向设置；锁紧组件，其包括固定件和活动件，所述固定件设置于所述定位轴的顶部，所述活动件连接于所述悬臂并位于所述定位轴的上侧；所述固定件与活动件在竖直方向上至少部分重叠，以在所述悬臂摆动至在线位置时，固定件与活动件磁吸为一体，以提升抛光液滴落位置的准确性。