来源 :格隆汇2023-05-08
格隆汇5月8日丨华海清科(688120.SH)披露投资者关系活动记录表,问答环节中,就“公司其他半导体设备有何进展?”,公司回复称,公司自主研发的清洗设备已批量用于公司晶圆再生生产,预计2023年推向相关细分市场;金属薄膜厚度测量设备已实现小批量出货,在客户端表现出色,已在高端制程完成部分工艺验证,非金属的膜厚量测产品也在研发中;用于湿法工艺设备中研磨液、清洗液等化学品供应的HSDS/HCDS供液系统设备已获得批量采购,主要分为直接销售及作为CMP设备附属设备配套销售,目前以配套销售为主。