来源 :界面新闻2023-09-05
华海清科近期披露投资者关系活动记录表显示，公司CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖，目前已批量供货。
公司完成Versatile-GP300智能化控制及工艺性能水平的迭代升级，推出Versatile-GP300量产机台，在核心技术指标方面取得新突破，达到了国内领先和国际先进水平，已出机发往集成电路龙头企业进行验证。面向封装领域的Versatile-GM300各项性能指标达到预期目标，正在进行验证。