华海清科：芯嵛半导体已完成部分离子注入设备的研发工作，相关产品已进入某集成电路大生产线验证

　　华海清科近期接受投资者调研时称，公司参股了芯嵛半导体（上海）有限公司，其已完成部分离子注入设备的研发工作，相关产品已进入某集成电路大生产线验证，目前验证较为顺利。