来源 :金融界2023-11-30
金融界2023年11月30日消息，据国家知识产权局公告，华海清科股份有限公司取得一项名为“一种基板磨削工作台和基板磨削装备“，授权公告号CN220094034U，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种基板磨削工作台和基板磨削装备，所述基板磨削工作台包括：安装座；旋转驱动部，其设置于所述安装座的下方；陶瓷吸盘，其设置于所述安装座的上方，以吸合待磨削的基板；所述安装座与陶瓷吸盘的接触处配置有辅助结构，其能够在所述接触处的至少部分区域形成真空，使得陶瓷吸盘紧密贴合于安装座的上方。所述基板磨削工作台是陶瓷吸盘真空吸合于安装座上方时，按照设定顺序安装固定螺栓，以保证陶瓷吸盘顶面的平整度。此技术能够显著提升基板磨削时的工作精度，加强制造质量。