华海清科申请晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置专利，减小线圈绕组的发热量

　　据国家知识产权局公告，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置“，公开号CN117766437A，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置，应用于设置有电磁制动器的测速轮，电磁制动器包括定子、转子、线圈绕组，定子靠近转子的侧面包括摩擦片，转子与测速轮的转轴固定连接，方法包括：向线圈绕组通入第一脉冲电流，使得线圈绕组充磁，吸引定子向靠近转子方向移动直至与摩擦片接触摩擦制动；向线圈绕组通入第二脉冲电流，使得线圈绕组消磁，定子与摩擦片脱离，解除对测速轮的制动限制。本发明通过第一脉冲电流对线圈绕组进行磁化，使得线圈绕组产生恒定的磁场，电磁制动器在对测速轮维持制动状态或维持解除状态时无需持续通电，进而减小了线圈绕组的发热量。