微导纳米取得电场馈入技术专利，提高电场的稳定性

　　金融界2024年1月3日消息，据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种电场馈入结构及沉积设备”，授权公告号CN116988045B，申请日期为2023年9月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种电场馈入结构及沉积设备，包括承舟块和金属片，承舟块用于支撑载片舟的舟脚；金属片可拆卸的连接于承舟块，金属片具有第一电连接部和第二电连接部，第一电连接部用于与馈入电极电连接，第二电连接部用于与舟脚电连接；本申请中，馈入电极通过金属片和舟脚电连接，承舟块可以仅起到支撑载片舟的功能，无需起到导电作用，这样无需维护承舟块或者缩短承舟块的维护周期，节省成本；并且在一定情况下，承舟块可以使用绝缘材料，例如包括但不限于陶瓷材质的绝缘材料，从而避免碎片堆积在承舟块附近而引起的电场高频问题，提高电场的稳定性。