来源 :上证e互动2025-02-10
微导纳米(688147)贵司是原子层沉积的龙头，与ALD（原子层沉积）相对的ALE(原子层刻蚀)领域，贵司有无相关技术储备？
尊敬的投资者您好，公司深耕薄膜沉积设备工艺技术研发和应用场景拓展，高度重视技术创新，在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域积累了丰富的技术储备，已形成多项核心技术，构建以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。感谢您的关注。