来源 :经济观察网2025-04-11
近日,江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“一种基片的承载装置”专利公布。摘要显示,本发明公开一种基片的承载装置,包括托盘和框架,所述框架包括框主体,所述框主体包括支撑梁体,所述支撑梁体沿第一方向延伸,所述支撑梁体包括金属梁部和两个夹板梁部,两所述夹板梁部的材质和所述金属梁部的材质不同,两所述夹板梁部分别位于所述金属梁部在第二方向的两侧,且两所述夹板梁部均和所述金属梁部相连,所述金属梁部在第三方向的两个端面分别为第一连接面和第二连接面,所述第一连接面和所述托盘相接触,所述第二连接面和接地部件相接触,所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向之间均呈夹角设置。上述承载装置可以具备较高的耐磨性能,且接地效果相对较佳。