江苏微导纳米科技股份有限公司“沉积系统”专利公布

　　资料显示，近日，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“沉积系统”专利公布。

　　摘要显示，本申请公开了沉积系统。沉积系统包括设备主体、电极组件、气电馈入件和射频模组。设备主体具有工艺腔体。电极组件设置于工艺腔体内。气电馈入件设置于设备主体的其中一侧，气电馈入件包括第一管路和多个第二管路，第一管路和第二管路穿设设备主体的其中一侧壁与电极组件气导通且电导通，第二管路均匀围绕第一管路设置，第二管路与第一管路间隔设置，不同第二管路与第一管路之间的距离相同，第一管路和第二管路连通设置。射频模组与第一管路电导通，第一管路与第二管路之间通过线缆导通。通过上述方式，本申请能够提高沉积系统镀膜的均匀性。