德龙激光取得内嵌升降PIN的旋转载台专利，节省空间并解决了传统晶圆加工载台与晶圆机器人配合自动化上下料的问题

　　金融界2024年1月29日消息，据国家知识产权局公告，苏州德龙激光股份有限公司取得一项名为“内嵌升降PIN的旋转载台“，授权公告号CN220400561U，申请日期为2023年4月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及内嵌升降PIN的旋转载台，包括旋转轴底座组件、旋转马达和陶瓷盘，旋转轴底座组件包括固定底板，固定底板上设置有旋转马达，旋转马达顶部的驱动端与上方的载台底座相连接，载台底座上设置有陶瓷盘；还包括升降PIN组件，升降PIN组件包括丝杆电机、电机转接板、升降固定板、升降移动板、升降杆、吸盘和旋转底座。本实用新型在晶圆加工旋转载台内部，增加了一套升降PIN组件，此升降PIN组件还具有真空吸附功能，结构十分紧凑，既节省了空间又解决了传统晶圆加工载台与晶圆机器人配合自动化上下料的问题。