来源 :金融界2024-03-27
2024年3月27日消息,据国家知识产权局公告,苏州德龙激光股份有限公司申请一项名为“晶圆搬运机构“,公开号CN117766444A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明涉及一种晶圆搬运机构,包括吸盘、吸盘固定板和龙门支架,吸盘固定板上安装有若干个用于搬运晶圆的吸盘;龙门支架上安装有X轴气缸,X轴气缸上的驱动端与气缸支撑板沿着Y轴正方向的一侧相连接,气缸支撑板沿着Y轴负方向的一侧与气缸转接板相连接,气缸转接板上安装有Z轴气缸,Z轴气缸底部的驱动端与下方的气缸升降板相连接,气缸升降板的底部安装有吸盘固定板。本发明结构设置简单,成本较低,可实现晶圆的快速搬运;本发明采用气缸、龙门支架、吸盘的组合,替换了传统双轴模组的组合,相比于双轴电机模组,具备空间小、成本低、重量轻的优点。