来源 :上证e互动2023-04-03
燕东微(688172)请问公司跟上海微电子订购的一台用于65nm节点的光刻机需要几次曝光？该光刻机有双工件台吗？
尊敬的投资者您好，公司未从上海微电子购买65nm节点光刻机。相关信息请以公司公告为准。