来源 :上证e互动2021-09-10
八亿时空(688181)请问光刻胶进展情况如何？
感谢您的关注！光刻胶原料光酸和树脂小试合成基本完成，目前正处于准备放量阶段。248纳米用树脂原料的合成、纯化开发小试顺利，目前达到中试试验水平。